全自動清洗機RCA全自動清洗機可用于2~12寸清洗、蝕刻、去膠、顯影、電鍍。本設(shè)備采用模塊化設(shè)計，其機械手傳輸系統(tǒng)模塊易安裝，通過更新模塊組合可以實現(xiàn)不同的功能。設(shè)備可以配備獨立的干燥系統(tǒng)，該干燥系統(tǒng)為臥式旋干機，通過離心力去除晶圓表面水分，擁有干燥效果好，效率高，振動小，噪音低等特點。通過干燥系統(tǒng)模塊選擇可以實現(xiàn)干進干出功能。設(shè)備采用12~15寸控制面板，通過面板控制可以選擇各種運行模式，選擇及編寫工藝配方等。設(shè)備帶消防設(shè)備，機械手帶防撞設(shè)置，機臺各模塊之間及模塊內(nèi)零部件互鎖功能等。全自動清洗機