江蘇RCA全自動(dòng)清洗機(jī)RCA全自動(dòng)清洗機(jī)可用于2~12寸清洗、蝕刻、去膠、顯影、電鍍。本設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)，其機(jī)械手傳輸系統(tǒng)模塊易安裝，通過(guò)更新模塊組合可以實(shí)現(xiàn)不同的功能。設(shè)備可以配備獨(dú)立的干燥系統(tǒng)，該干燥系統(tǒng)為臥式旋干機(jī)，通過(guò)離心力去除晶圓表面水分，擁有干燥效果好，效率高，振動(dòng)小，噪音低等特點(diǎn)。通過(guò)干燥系統(tǒng)模塊選擇可以實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出功能。設(shè)備采用12~15寸控制面板，通過(guò)面板控制可以選擇各種運(yùn)行模式，選擇及編寫(xiě)工藝配方等。設(shè)備帶消防設(shè)備，機(jī)械手帶防撞設(shè)置，機(jī)臺(tái)各模塊之間及模塊內(nèi)零部件互鎖功能等。江蘇RCA全自動(dòng)清洗機(jī)